韓国が半導体ウエハー搬送装置用「2Dライダーセンサー」を国産化 政府やサムスン系列社が支援

  • 2021年8月17日
  • 2022年11月21日
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韓国科学省傘下の韓国機械研究院(KIMM)は、国内のライダーセンサー専門企業エスオーエスラボ(SOS LAB)と共同で、半導体用ウエハー搬送装置に搭載する2Dライダーセンサーの国産化に成功したと17日に明らかにした。サムスン電子の100子会社であるセメス社も協力した。

ライダーセンサーは、毎秒数百万個のレーザービームを継続的に発射し、センサーに戻ってくる時間に基づいて距離を測定し、周囲の環境を立体的に認識する機器である。自律走行の核心部品でもある。
 
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半導体生産ラインでは、ウエハーを自動で搬送するため、天井に設置されたレールに沿って工程を移動しながらウエハーを運ぶ自律走行システム「OHT(Overhead Hoist Transport)」が稼働しているが、OHT 1台あたり2〜4個のライダーセンサーが必要となり、これまで全量をドイツや日本などの輸入製品に依存してきた。

しかし、KIMMの機械研人工知能機械室ハ・チャンワン先任研究員の研究チームとライダーセンサー専門企業エスオーエスラは、需要企業セメスとライダーセンサー国産技術の開発と事業化のために協力した末に、国産製品の性能を向上させ、量産可能な技術を確保することに成功しした。

研究チームは、技術の国産化のために関連専門企業と協力し、実際の半導体生産現場に合ったカスタム製品の開発に着手した。また、製品を必要とする需要企業と共に性能評価を行い、現場適用時の信頼性を最大限に高めた。
 

▲半導体ウエハ搬送装置の2Dライダーセンサーが半導体ウエハ搬送装置(OHT)に付着した様子/KIMM提供
 
研究チームは、量産性を考慮した製品の最適化し、光子整列の改善を通じてライダーセンサーの主要な性能である測定分解能と精度を向上させるため、製品の組み立て後、手作業で行われていた補正と性能評価手順を自動化することにより、大量生産のための量産技術を確保した。

この技術は、需要企業基準で年間4,000以上の半導体ウエハー搬送装置の2Dライダーセンサーの輸入代替効果を得ることが期待される。また、今後、様々なライダーのセンサーの開発に適用され、自動車の自律走行とスマートモビリティ、スマートインフラ実装にも活用される見通しだ。

KIMMのハ・チャンワン先任研究員は、「政府出資研究所、国内企業、需要企業が積極的に協力して外国製製品に依存していた製品を国産化に成功して意味が大きい」とし、「日本の輸出規制強化などの外部環境の変化にも国内の半導体の生態系をさらに安定的に保護することができるものと期待される」と述べた。

エスオーエスラボのジョン・ジソン代表は、「スマートファクトリー内のセンサーの国産化を通じ、国家の技術力を上げる貢献をすることができて大変感謝している」とし「自律走行とスマートインフラ市場でも世界最高ライダー企業になるように、今後、より最善を尽くしたい」と述べた。

一方、今回の成果は、韓国産業技術振興院素材・部品・機器の量産性能評価支援事業の一環として推進された「半導体ウエハー搬送装置の2Dライダーセンサーの性能向上と量産技術開発」事業として実行された。
 
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