韓国企業がこれまで日本から全量輸入してきた半導体とディスプレイ製造工程の核心原料を国産化することに成功した。2019年に日本が対韓国輸出規制(輸出管理強化)をとった品目に一つであるEUV用フォトレジストの原料だ。
参考記事:韓国紙「日本の対韓国輸出規制後《国籍洗浄》する企業増えた」「核心特許は日本企業が多数押さえ…国産化困難」
韓国各紙によると、韓国の電子用部品・化学素材専門企業であるケムトロニクス(会長キム・ボギュン・写真)は半導体とディスプレイの極紫外(EUV)露光工程で核心材料であるフォトレジスト(PR)の核心原料を構成する「プロピレングリコールメチルエーテル酢酸(PGMEA)」を超高純度(純度99.999%)で生産することに成功したと7日明らかにした。
同社関係者は「日本が輸出規制を発表した後、EUV PR用PGMEA国産化を目標に製品開発を推進してきた」と伝えた。
PGMEAは、塗料や接着剤などの一般製品だけでなく、半導体、液晶表示装置(LCD)、有機発光ダイオード(OLED)などの電子製品の生産にも使用される代表的な溶剤だ。世界的な化学メーカーであるダウやライオンデルなどだけがPGMEAを生産している。特に超高純度PGMEAは、2019年7月に日本が韓国輸出を制限した3大素材の一つであるEUVフォトレジストの核心原料となる。
毎日経済新聞によると、EUV級PGMEAは最も難しい技術の一つであり、世界で初めて5ナイン(Nine・99.999%)級超高純度PGMEA技術を確保したの(国産化を超え)世界的な意味を持つとの業界関係者の意見を伝えている。
ケムトロニクスは半導体級PGMEA製造工程技術を適用し、すぐに量産化に注力する計画であるという。この知らせを受け同社の株価は8日の9時10分現在、前日比7.88%上昇となる31,500ウォンで取引中だ。
参考記事:韓国企業がついにEUV用フォトレジストを国産化か…日本の輸出規制品 有力紙報じる