Ｘ線検査装置メーカーのジャービス（ＸＡＶＩＳ）の子会社であるジャービスオプティクスは３日、「３次元高解像度Ｘ線顕微鏡ナノＣＴ装置」の開発に成功したと明らかにした。
韓国でこの装置を国産化したのは今回が初めてだと同社側は説明した。この装備は、Ｘ線を使用して対象物を損傷することなく、内部構造を３次元で視覚化する非破壊検査装備だ。Ｘ線を通じて回転中の対象物を様々な角度で撮影し、これを通じて収集されたデータを３次元画像にする仕組みだ。対象物の内部構造を１００ナノメートル（ｎｍ）まで精密に確認することができる。
ジャビスの関係者は「現在、研究所単位で使用できるデモ装置の開発を終えた状態」とし、「高解像度Ｘ線ナノＣＴ装置は、海外のいくつかの企業が独占している高付加価値装置」と説明した。
この装置は一つのＸ線装置でミリメートル級大面積に対してはマイクロメートル級解像度を、マイクロメートル級大面積に対してはナノ級解像度を実現できる。マルチ倍率変換モード機能も搭載した。
同社は、この装置が工場自動化や様々な産業現場で使用されることを期待している。半導体精密検査、バッテリー陰極・陽極活物質粒子分析、歯科医学および医療工学のサンプル分析などに使われるという説明だ。
会社の関係者は「今年上半期に開発を終えると、下半期からザビスを通じて本格的な販売に乗り出す予定」と述べた。
