出所:THE ELEC報道記事(2024年7月2日付)、解説動画(同4日付)
・サムスン電子が9世代V-NAND金属配線工程にモリブデン(Mo)を適用した。モリブデンの適用はメモリ業界で初めてであり、サムスン電子は再び技術的リードを取ることを目指している。
・モリブデンは次世代金属配線素材の一つであり、タングステンよりも低い比抵抗を持つ。これにより反応速度が向上し、NANDの層高を低減することが可能となる。
・サムスン電子のモリブデン採用により、NANDメモリの工程素材バリューチェーンに大きな変化が予想される。SKハイニックス、マイクロン、キオクシアなど他の企業もモリブデンの使用を検討中。既存の六フッ化タングステン(WF6)供給業者が衰退し、モリブデン供給企業が台頭する見込み。