出所：ＴＨＥＥＬＥＣ（９月２日）、ＥＴＮＥＷＳ（８月１３日）
－ サムスン電子が東京エレクトロン（ＴＥＬ）製の新型ガスクラスタービーム（ＧＣＢ）装置「アクレヴィア（Ａｃｒｅｖｉａ）」のテストを実施中。
－ アクレヴィアはＥＵＶパターニングの改善に用いられる装置で、イオンビームを利用してウェーハの局所部位を形成する
。
－ ＴＥＬはアクレヴィアによってＥＵＶプロセスのパターン粗さ（ＬＥＲ）やパターン欠陥の改善が可能と強調している。
－ この装置は
出所：ＴＨＥＥＬＥＣ（９月２日）、ＥＴＮＥＷＳ（８月１３日）
－ サムスン電子が東京エレクトロン（ＴＥＬ）製の新型ガスクラスタービーム（ＧＣＢ）装置「アクレヴィア（Ａｃｒｅｖｉａ）」のテストを実施中。
－ アクレヴィアはＥＵＶパターニングの改善に用いられる装置で、イオンビームを利用してウェーハの局所部位を形成する
。
－ ＴＥＬはアクレヴィアによってＥＵＶプロセスのパターン粗さ（ＬＥＲ）やパターン欠陥の改善が可能と強調している。
－ この装置は
