SKハイニックス、「エッチングプロセス用スクラバー、温室効果ガス処理効率99%」

ＳＫハイニックス（ＳＫ　ｈｙｎｉｘ）は９日、国内の事業所で使用されるエッチングプロセス用の「スクラバー」において、温室効果ガス処理効率を９９％まで向上させる新技術の開発に成功したと発表した。

スクラバーは生産プロセスで発生する副産物を除去する装置で、半導体製造プロセスで使用されるさまざまな化学物質から有害物質を精製し、安全に処理する役割を果たす。

「処理効率９９％」という数値は、温室効果ガスの排出量が計測器で測定できる最小量以下で検出されることを意味し、