韓国で半導体工程用ナノメートル(nm)級フィルターの国産化が実現した。
韓国産業通商資源部は、シノペクス(Synopex.com)が17日、京畿道華城(ファソン)東灘(ドンタン)工場で新たな生産ラインを竣工し、半導体洗浄工程用ナノ級フィルターを量産すると発表した。
半導体洗浄用ナノ級フィルターは、洗浄用化学物質の不純物を精製するためのフィルターで、その性能が半導体の歩留まりに直結している。
半導体の線幅の微細化傾向に伴い、超微細な汚染物質を除去する洗浄工程の重要性が増している。
産業部は今回の生産ライン竣工により、