リソグラフィ - コリア・エコノミクス

韓国機械研究院、400㎚級の超微細半導体回路リソグラフィ装置を国産化

韓国科学省傘下の韓国機械研究院（KIMM）が、韓国で初めて400㎚（ナノメートル）級のレーザー直接描画（リソグラフィ）装置の国産化に成功した。半導体の生産性を飛躍的に向上させることができる技術として期待を集めている。 KIMMの研究チームは、400㎚ […]