リソグラフィ

韓国機械研究院、400㎚級の超微細半導体回路リソグラフィ装置を国産化

韓国科学省傘下の韓国機械研究院（KIMM）が、韓国で初めて400㎚（ナノメートル）級のレーザー直接描 […]