- 2021年8月17日
韓国が半導体ウエハー搬送装置用「2Dライダーセンサー」を国産化 政府やサムスン系列社が支援
韓国科学省傘下の韓国機械研究院(KIMM)は、国内のライダーセンサー専門企業エスオーエスラボ(SOS LAB)と共同で、半導体用ウエハー搬送装置に搭載する2Dライダーセンサーの国産化に成功したと17日に明らかにした。サムスン電子の100子会社であるセ […]
韓国科学省傘下の韓国機械研究院(KIMM)は、国内のライダーセンサー専門企業エスオーエスラボ(SOS LAB)と共同で、半導体用ウエハー搬送装置に搭載する2Dライダーセンサーの国産化に成功したと17日に明らかにした。サムスン電子の100子会社であるセ […]
韓国科学省傘下の韓国機械研究院(KIMM)が、韓国で初めて400㎚(ナノメートル)級のレーザー直接描画(リソグラフィ)装置の国産化に成功した。半導体の生産性を飛躍的に向上させることができる技術として期待を集めている。 KIMMの研究チームは、400㎚ […]