■出所：ＴＨＥ ＥＬＥＣ ２０２３年１２月１２日付
・オランダ企業ＡＳＭＬは０．３３ ＮＡ極紫外線（ＥＵＶ）露光装置「ＮＸＥ：３８００Ｅ」を来年に供給する予定で、０．５５ ＮＡ装置は２０２５年に商用化する予定だ。
・ＡＳＭＬコリアのジョン・ジンハン常務は12日に韓国で開かれた「アドバンストリソグラフィー＆パターニングテックカンファレンス２０２３」（ＴＨＥ ＥＬＥＣ主催）において、「今後１０年間のＥＵＶロードマップ」を公開した。
・ＡＳＭＬは０．３３ ＮＡ装置の生産能力を強化し、２０２３年第３四半期まで２１３台を納品しており、新製品であるＮＸＥ：３８００Ｅは最大２２０枚のウェーハを時間当たりに処理することができる。
