[Tech briefing]サムスンが韓国企業のPGMEAをテスト中…EUV用PR溶剤

■出所:THE ELEC 2023年11月13日付

・サムスン電子の半導体事業を担当するDS部門は、韓国企業ケムトロニクスが開発した「プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)」を使用しようとしている。

・ケムトロニクスが開発したPGMEAは、高純度で人体に有害なベータ異性体がほとんどない”フリー”製品である。

・PGMEAは半導体生産工程で溶剤として使用され、露光工程、感光液、EUV工程用PRなどに活用される。

・現在はケムトロニクスが生産した高純度PGMEAをテスト中であり、品質テスト(クォール)に合格すれば、米国と日本企業の市場シェアも変化する見通しである。

・ケムトロニクスが開発したPGMEAの特徴は、ベータ異性体含有量を低くして人体への有害性を最小限に抑えたこと。

・過去に白血病騒動(※半導体工場職員らが白血病を患い、最終的にサムスン側が謝罪・補償)サムスン電子だからこそ、「人体に有害な可能性がある」物質を生産工程で先制的に除去するという分析もある。

・一方、価格面ではベータ異性体含有量を下げることが工程時間とコストを増加させることもあり、サムスン電子の最終決定が注視される。

(参考記事:韓国企業がPGMEAを量産へ…EUV用PR溶剤