[Tech briefing]サムスンが韓国企業のＰＧＭＥＡをテスト中…ＥＵＶ用ＰＲ溶剤

■出所：ＴＨＥ　ＥＬＥＣ　２０２３年１１月１３日付

・サムスン電子の半導体事業を担当するＤＳ部門は、韓国企業ケムトロニクスが開発した「プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）」を使用しようとしている。

・ケムトロニクスが開発したＰＧＭＥＡは、高純度で人体に有害なベータ異性体がほとんどない”フリー”製品である。

・ＰＧＭＥＡは半導体生産工程で溶剤として使用され、露光工程、感光液、ＥＵＶ工程用ＰＲなどに活用される。