[Tech briefing]ＳＫハイニクス、ＴＥＬの極低温エッチング導入を準備中

出所：ＴＨＥ　ＥＬＥＣ　２０２４年５月１日付

・ＳＫハイニックスは東京エレクトロン（ＴＥＬ）の極低温エッチング装置をテストしている。

・ＴＥＬの新規エッチング装置は、既存の装置に比べて炭素排出量が少なく、速度が速い。

・業界の見通しによると、ＴＥＬの極低温エッチング装置は４００段以上のＮＡＮＤ製品に適用されると予想される。