韓国企業がPGMEAを量産へ…EUV用PR溶剤

韓国企業が半導体極紫外線(EUV)工程の核心原料を韓国内で量産する。日本が韓国向けに輸出規制(輸出管理強化)したことのあるEUVフォトレジスト(PR)の溶剤だ。

複数の韓国紙によると、韓国企業であるケムトロニクス(chemtronics.co.kr)は7日、170億ウォン(約20億円)を投資し、現在年間1万トン(t)レベルの「超高純度プロピレングリコールメチルエーテル酢酸(PGMEA)」の生産能力を2025年2万5000tに拡大することを明らかにした。

※ケムトロニクスの当該公示(ハングル):https://kind.krx.co.kr/common/disclsviewer.do?method=search&acptno=20231107000205

ケムトロニクスは昨年、PGMEAを開発し、200億ウォンを投資して初期設備を構築した。同社は今回の追加投資を通じて生産能力を2.5倍水準に拡大し、大量供給に乗り出す計画だ。

PGMEAは半導体露光工程に活用されるPRの70~80%を占める核心原料だ。特に、ケムトロニクスが開発したPGMEAは99.999%(5N)の超高純度を実現したもので、EUV PRを作るために使われるとのこと。